NWO-I

NWO - Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek - print-logo

URL voor deze pagina :
https://www.nwo-i.nl/nieuws/2009/11/23/tim-tsarfati-wint-eerste-fom-valorisatiehoofdstuk-prijs/

Geprint op :
29 juni 2017
00:33:55

Tsarfati verrichtte zijn onderzoek aan het FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen onder supervisie van prof. Fred Bijkerk. Het onderzoek maakt deel uit van het FOM-programma 'eXtreme UV Multilayer Optics' (XMO), een Industrial Partnership Programme (IPP) in samenwerking met de Duitse opticagigant Carl Zeiss SMT. In dit programma wordt gewerkt aan spiegels voor extreem ultraviolet licht, dat gebruikt gaat worden in de volgende generatie lithografiemachines voor de chipindustrie. De spiegels worden opgebouwd uit een honderdtal afwisselende laagjes molybdeen en silicium. Elk van deze laagjes is in dikte van de orde van de golflengte van het te reflecteren licht, typisch zo'n 13 nanometer. Dit betekent dat elk laagje slechts enige tientallen atomen dik is en op die schaal zeer glad moet zijn. De afdeling binnen Rijnhuizen heeft het wereldrecord van reflectie met zulke multilaagspiegels in handen. De spiegels weerkaatsen zo'n 71% van het binnenvallende extreem ultraviolet licht, bijna het theoretisch maximum.

Het onderzoek van Tsarfati richtte zich op het ontwerp en het verlengen van de levensduur van de spiegels. Hiertoe ontwikkelde hij verschillende tussenlaagjes en afdeklagen om menging, vervuiling en erosie van de laagjes, ook bij langdurige blootstelling aan EUV, te voorkomen.

De belangrijkste redenen voor het toekennen van de prijs aan Tsarfati zijn de concrete wijze waarop hij de toepassingsmogelijkheden van zijn onderzoeksresultaten beschrijft en het realiteitsgehalte van de aangedragen mogelijkheden voor kennisbenutting. Tevens heeft zijn inzet voor kennisbenutting binnen FOM tijdens zijn onderzoek er aan bijgedragen dat dr. Tsarfati nu is aangesteld als 'Valorisation Officer' aan het FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen.

Contact
dr. Tim Tsarfati, telefoonnr. +31 (0)30 609 69 87.

Achtergrondinformatie
Het proefschrift van dr. Tim Tsarfati
Website van de afdeling nSI van Rijnhuizen
De FOM Valorisatiehoofdstuk Prijs